Полупроводник

  1. Главная
  2. »
  3. Рынок
  4. »
  5. Полупроводник

Рост кристаллов:

Выращивание полупроводниковых монокристаллов с контролируемой ориентацией кристаллов, компонентами, примесями, дефектами, геометрией и размерами, в том числе монокристаллов и тонкопленочных монокристаллов, является основным процессом получения полупроводниковых материалов. Процесс крупнотоннажного промышленного производства полупроводников требует качественной чистой среды и высокоточной технологии управления, что предъявляет высокие требования к вакуумным системам и системам компьютерного управления. Существующее оборудование для выращивания кристаллов в настоящее время обычно использует сухой вакуумный насос для создания системы вакуумирования.

сопутствующие товары

Сухая вакуумная установка серии S0 - Vacculex
Сухая вакуумная установка серии S0

Депонирование:

Осаждение можно разделить на процесс физического осаждения из паровой фазы (PVD), процесс химического осаждения из паровой фазы (CVD) и процесс атомно-слоевого осаждения (ALD) в соответствии с различными принципами процесса. Процесс PVD обычно работает в высоком вакууме от 10-3 до 10-7 торр; CVD включает PECVD, SACVD, LPCVD и т. д., большинство процессов работают в первичном вакууме; Процесс ALD (атомно-слоевое осаждение), большинство процессов ALD работает в первичном вакууме в диапазоне давлений от 10-1 до 5 мбар.

сопутствующие товары

Deposition
Сухая вакуумная установка серии S0 - Vacculex
Сухая вакуумная установка серии S0
SE series dry vacuum pump standard unit - Vacculex
Сухая вакуумная установка серии SE

Офорт:

Сухое травление — это технологический метод, в котором используется плазма, генерируемая в газообразном состоянии, для селективного вытравливания экспонированного поверхностного материала на пластине путем физических и химических реакций с пластиной, подвергаемой воздействию плазмы через окно маскирующего слоя, открытое литографией. В зависимости от материала удаляемого поверхностного материала требуются различные уровни вакуума, и процесс обычно проводят при уровнях вакуума в диапазоне от 10-2 до 10-3 мбар.

сопутствующие товары

Etching
Сухая вакуумная установка серии S0 - Vacculex
Сухая вакуумная установка серии S0
SE series dry vacuum pump standard unit - Vacculex
Сухая вакуумная установка серии SE

Вафельное движение:

Пластины перемещаются между камерами с помощью механизма передачи под вакуумом или в полупроводниковом приборе и из него с помощью загрузочной шлюзовой камеры, накачанной до высокого вакуумного давления, которое необходимо поддерживать на протяжении всего процесса, обычно на уровне вакуума от 10 до 1 и 10-2 мбар.

сопутствующие товары

Wafer movement - Vacculex
Сухая вакуумная установка серии S0 - Vacculex
Сухая вакуумная установка серии S0
SE series dry vacuum pump standard unit - Vacculex
Сухая вакуумная установка серии SE

Вакуумное спекание:

Вакуумное спекание — это спекание материалов в вакууме или агломерация частиц порошка в агрегаты кристаллов для получения желаемых физико-механических свойств продукта или материала. Вакуум может улучшить смачиваемость жидкой фазы твердой фазой, что способствует усадке и улучшению организации материала, а также оказывает очевидное влияние на улучшение качества продукции. Здесь он в основном используется для процесса спекания полупроводниковых компонентов и деталей силовых выпрямителей.

сопутствующие товары

Vacuum sintering- Vacculex
MB Series Mechanical Vacuum Booster - Vacculex
Механический вакуумный усилитель серии MB
Dry Screw Vacuum Pump - Vacculex
Винтовые вакуумные насосы серии VSP

Хотите начать общение с нами?

Любые вопросы, пожалуйста, свяжитесь с нашей командой, мы свяжемся с вами в ближайшее время.

Find your ideal vacuum pump

Fill out the form below, and we will be in touch shortly.